Настольная система измерения толщины тонких пленок MProbe

Настольная система измерения толщины тонких пленок MProbe предназначена для быстрого, неразрушающего и высокоточного измерения толщины тонкопленочных покрытий, используемых в микроэлектронике, полупроводниковой промышленности, оптоэлектронике, фотонике, солнечной энергетике и научных исследованиях. Оборудование позволяет контролировать параметры технологических процессов нанесения пленок и обеспечивает высокую точность измерений без повреждения исследуемых образцов.

Система MProbe использует современные оптические методы измерения, основанные на анализе отраженного света и спектральной рефлектометрии. Такой подход позволяет определять толщину прозрачных, полупрозрачных и многослойных покрытий на различных типах подложек. Измерения выполняются быстро и не требуют сложной подготовки образцов, что существенно ускоряет контроль качества и проведение научных исследований.

Оборудование применяется для измерения толщины диэлектрических, полимерных, оксидных, нитридных, фоторезистивных и других тонкопленочных покрытий, используемых при производстве микросхем, MEMS-устройств, датчиков, светодиодов, лазерных компонентов и оптических элементов. Высокая точность измерений позволяет контролировать критически важные параметры технологических процессов в микроэлектронном производстве.

Настольное исполнение обеспечивает удобство эксплуатации в лабораторных условиях и на производственных участках. Интуитивно понятное программное обеспечение позволяет автоматически проводить анализ результатов, формировать отчеты и сохранять данные измерений для дальнейшей обработки.

Преимущества:

• неразрушающее измерение толщины тонких пленок;
• высокая точность и повторяемость результатов;
• быстрый анализ без подготовки образцов;
• поддержка многослойных и однослойных покрытий;
• измерение прозрачных и полупрозрачных материалов;
• удобное настольное исполнение;
• автоматизированная обработка данных;
• применение в микроэлектронике, фотонике и научных исследованиях.

MProbe Vis — настольная система для высокоточного измерения толщины тонких плёнок в широком диапазоне толщин от 10 нм до 150 мкм. Обеспечивает воспроизводимость до ≤ 0,01 нм (или 0,01%) и точность до ≤ 1 нм (или 0,2%), работает в эффективном спектральном диапазоне 450–1050 нм и подходит для образцов размером 10–200 мм (опционально до 300 мм). Компактное пятно измерения менее 1 мм позволяет выполнять локальные измерения на поверхности образца.

Настольная система MProbe Vis предназначена для контроля толщины тонких плёнок с высокой стабильностью и повторяемостью результатов. Измерения выполняются в видимом/ближнем ИК диапазоне (эффективно 450–1050 нм) с использованием спектрометра F3 с коррекцией астигматизма и тороидальным зеркалом, а регистрация сигнала осуществляется Si CMOS-детектором на 2048 пикселей с 16-битным АЦП, что обеспечивает точную обработку спектральных данных. В качестве источника света применяется галогенная лампа 5 Вт (Xe filled) с ресурсом до 10 000 часов, что удобно для регулярной эксплуатации. Система рассчитана на работу с образцами стандартно 10–200 мм, а при необходимости может быть сконфигурирована для образцов до 300 мм.

Основные характеристики:

• Воспроизводимость: ≤ 0,01 нм или 0,01 %
• Точность: ≤ 1 нм или 0,2 %
• Устойчивость результатов вычислений: 0,02 нм или 0,03 %
• Размер пятна: < 1 мм (стандартно)
• Размер образца: 10 — 200 мм (опция: до 300 мм)

Конфигурация настольной системы:

• Диапазон длин волн (нм): 450 — 1050 (эффективный)
• Спектрометр / детектор: Спектрометр F3 (с коррекцией астигматизма, тороидальное зеркало), Si CMOS 2048 пикс., АЦП 16 бит
• Источник света: Галогенная лампа 5 Вт (Xe filled), ресурс 10 000 ч
• Диапазон толщин: 10 нм — 150 мкм