ATOMETRICS Спектрально‑конфокальный датчик перемещения

ATOMETRICS Спектрально-конфокальный датчик перемещения — высокоточный бесконтактный измерительный прибор, предназначенный для определения линейных перемещений, расстояний, высоты объектов, толщины материалов и профиля поверхности с субмикронной точностью. Оборудование применяется в микроэлектронике, полупроводниковой промышленности, фотонике, производстве оптики, прецизионном машиностроении, медицинской технике и научных исследованиях.

Датчик использует технологию спектральной конфокальной хроматической измерительной системы, основанную на анализе отраженного света различных длин волн. Такой метод позволяет выполнять высокоточные измерения без контакта с объектом и обеспечивает стабильные результаты при работе с прозрачными, полупрозрачными, зеркальными, полированными и матовыми поверхностями.

Спектрально-конфокальные датчики перемещения эффективно используются для контроля положения деталей, измерения толщины стекла, пленок и покрытий, анализа микрорельефа поверхности, определения высоты ступенек и контроля геометрических параметров изделий. Высокая скорость измерений позволяет применять оборудование как в лабораторных условиях, так и в составе автоматизированных производственных линий.

ATOMETRICS обеспечивает высокую точность измерений даже при работе со сложными материалами и объектами малых размеров. Благодаря отсутствию механического контакта исключается риск повреждения чувствительных компонентов, что особенно важно при контроле полупроводниковых пластин, MEMS-структур, оптических элементов и микроэлектронных устройств.

Преимущества:

• бесконтактное измерение перемещения и расстояния;
• спектрально-конфокальная технология высокой точности;
• работа с прозрачными и отражающими поверхностями;
• измерение толщины, высоты и положения объектов;
• высокая скорость измерений;
• субмикронная точность контроля;
• интеграция в автоматизированные системы контроля качества;
• отсутствие риска повреждения исследуемых изделий.

Датчики серии AP обеспечивают высокую точность измерений и высокую скорость выборки, а также стабильность результатов независимо от материала и оптических свойств поверхности объекта. Конструкция датчиков позволяет выполнять измерения при больших углах падения излучения и обеспечивает круговой обзор с высокой разрешающей способностью.

Система отличается модульной архитектурой и удобным программным обеспечением, что обеспечивает гибкость настройки и простоту эксплуатации. Предусмотрены различные типы измерительных головок, включая исполнения с малыми габаритами, что расширяет области применения датчиков.

Основные особенности:

• высокая точность измерений;
• высокая частота дискретизации;
• стабильность измерений для объектов из различных материалов;
• возможность измерений при больших углах наклона поверхности;
• круговой обзор с высокой разрешающей способностью (до 360°);
• модульное программное обеспечение, удобное в эксплуатации;
• широкий выбор измерительных головок, включая компактные исполнения.

Области применения:

• контроль геометрических параметров поверхностей;
• измерение толщины, ступенчатых перепадов и микроперемещений;
• применение в электронной и полупроводниковой промышленности;
• прецизионная оптика и точная механическая обработка;
• системы автоматического контроля качества;
• медицинские и научно‑исследовательские измерительные системы.