ATOMETRICS Спектрально‑конфокальный 3D‑датчик серии AS

ATOMETRICS Спектрально-конфокальный 3D-датчик серии AS — высокоточный бесконтактный измерительный датчик, предназначенный для трехмерного контроля геометрии, профиля поверхности, толщины, высоты ступенек и микрорельефа изделий. Оборудование применяется в микроэлектронике, полупроводниковом производстве, фотонике, прецизионном машиностроении, производстве оптики и научно-исследовательских лабораториях, где требуется высокая точность измерений на микро- и наноуровне.

Технология спектральной конфокальной хроматической измерительной системы позволяет выполнять измерения без контакта с объектом и независимо от его отражающих свойств. Датчики серии AS эффективно работают с прозрачными, зеркальными, матовыми, полированными и многослойными поверхностями, обеспечивая высокую достоверность результатов даже при сложной геометрии исследуемых изделий.

Система обеспечивает измерение высоты, толщины, глубины, шероховатости и других параметров поверхности с субмикронной точностью. Благодаря высокой скорости сканирования датчики могут использоваться как в лабораторных условиях, так и в составе автоматизированных производственных линий контроля качества.

ATOMETRICS серии AS широко применяются для контроля полупроводниковых пластин, MEMS-структур, микросхем, оптических компонентов, стеклянных и сапфировых подложек, тонкопленочных покрытий, медицинских изделий и высокоточных механических деталей. Современное программное обеспечение обеспечивает построение трехмерных моделей поверхности, анализ результатов измерений и интеграцию с промышленными системами автоматизации.

Преимущества:

• бесконтактные 3D-измерения с высокой точностью;
• спектрально-конфокальная технология измерений;
• работа с прозрачными и отражающими поверхностями;
• измерение толщины, высоты и профиля поверхности;
• высокая скорость сканирования;
• субмикронная точность измерений;
• интеграция в автоматизированные производственные линии;
• неразрушающий контроль изделий.

Спектрально‑конфокальный 3D‑датчик серии AS предназначен для бесконтактного высокоточного измерения трехмерной геометрии объектов, включая одновременное измерение многоуровневых (многослойных) поверхностей. Датчик применяется в системах прецизионного онлайн‑контроля и автоматизированных измерительных комплексах.

Принцип действия датчика основан на спектрально‑конфокальном методе измерений. Белый свет разлагается на непрерывный спектр длин волн, при этом каждая длина волны фокусируется в строго определённой точке по высоте на поверхности измеряемого объекта, формируя вертикальную фокальную плоскость. По анализу отраженного излучения определяется пространственная форма поверхности и строится трехмерная модель объекта.

Конструкция датчика обеспечивает стабильные измерения зеркально отражающих поверхностей и позволяет выполнять высокоточные 3D‑измерения в режиме реального времени.

Основные особенности и характеристики:

• одновременное 3D‑измерение многоуровневых поверхностей;
• точность измерений: до 0,05 мкм;
• возможность измерений зеркально отражающих поверхностей;
• высокоточные трехмерные измерения в режиме онлайн;
• поддержка программного интерфейса SDK для интеграции в автоматизированные системы управления и контроля.

Области применения:

• полупроводниковая промышленность;
• электронные изделия и микроэлектроника;
• прецизионная оптика;
• контроль геометрии многослойных и прозрачных материалов;
• системы автоматического контроля качества;
• научно‑исследовательские и лабораторные измерения.

Программное обеспечение:

Предусмотрена возможность использования программного интерфейса (SDK) для разработки пользовательских приложений и интеграции датчика в производственные линии и измерительные системы.