ATOMETRICS Интерферометр белого света серии AM8000

Детали

Официальная поставка

Оборудование поставляется с официальной документацией и гарантией производителя

Точный подбор

Помогаем выбрать модель с учётом технических требований и условий

Запрос цены

Стоимость оборудования рассчитывается индивидуально по запросу

Оперативная поставка

Обеспечиваем согласованные и оптимальные сроки поставки оборудования

ATOMETRICS серии WM — высокоточная система трехмерного контроля полупроводниковых пластин, предназначенная для автоматизированного измерения геометрических параметров, анализа топографии поверхности и выявления дефектов на различных этапах производства микроэлектронных компонентов. Оборудование применяется в полупроводниковой промышленности, микроэлектронике, MEMS-технологиях, фотонике и научно-исследовательских центрах, где требуется максимальная точность контроля качества пластин.

Система серии WM обеспечивает комплексный 3D-анализ поверхности пластин с использованием современных бесконтактных оптических технологий. Оборудование позволяет выполнять измерение плоскостности, прогиба (Bow), коробления (Warp), локальных деформаций, микрорельефа и других параметров, влияющих на качество последующих технологических операций, включая литографию, травление, нанесение покрытий, монтаж кристаллов и корпусирование.

Высокое разрешение измерительной системы позволяет обнаруживать микротрещины, царапины, сколы, загрязнения и иные дефекты поверхности, которые могут привести к снижению выхода годной продукции. Автоматизированная обработка данных обеспечивает быстрое выявление отклонений и формирование подробных отчетов для производственного контроля.

ATOMETRICS WM поддерживает работу с кремниевыми пластинами (Si), карбидом кремния (SiC), нитридом галлия (GaN), сапфировыми, стеклянными и другими типами подложек. Благодаря высокой скорости измерений и интеграции в производственные линии система эффективно используется как для входного контроля материалов, так и для межоперационного и финального контроля качества.

Преимущества:

  • высокоточный 3D-контроль полупроводниковых пластин;
  • измерение Bow, Warp и параметров плоскостности;
  • анализ топографии поверхности и микрорельефа;
  • автоматическое выявление дефектов;
  • бесконтактный неразрушающий метод контроля;
  • высокая скорость измерений;
  • автоматизированная обработка и хранение результатов;
  • интеграция в системы контроля качества микроэлектронного производства.

Интерферометр белого света серии AM8000 предназначен для бесконтактных высокоточных измерений параметров поверхности, включая шероховатость, высоту ступеней и трехмерную топографию поверхности. Прибор применяется в системах прецизионного контроля качества и метрологических лабораториях.

Серия AM8000 обеспечивает субнанометровую точность измерений и расширенные функции автоматизации. По сравнению с серией AM7000 приборы AM8000 оснащены интеллектуальной системой управления, обеспечивающей автоматический поиск измеряемого объекта, автоматическую фокусировку и выравнивание поверхности по одной команде оператора.

Система поддерживает широкий набор измерительных режимов и сценариев применения. Автоматизированное перемещение по осям X–Y расширяет функциональные возможности прибора при проведении серийных и пространственно распределенных измерений.

Основные особенности и характеристики:

  • субнанометровая точность измерений;
  • автоматическая фокусировка;
  • автоматическое выравнивание (левелирование) измеряемой поверхности;
  • расширенные интеллектуальные функции управления;
  • измерение параметров шероховатости поверхности;
  • измерение высоты ступеней;
  • построение трехмерной топографии поверхности;
  • широкий набор измерительных функций и областей применения.

Области применения:

  • полупроводниковая промышленность;
  • прецизионная оптика;
  • микро‑ и нанообработка;
  • контроль качества поверхностей и покрытий;
  • научно‑исследовательские и метрологические лаборатории;
  • медицинские и биотехнологические изделия.

Программное обеспечение:

Программное обеспечение обеспечивает:

  • автоматизированное управление измерительным процессом;
  • визуализацию и анализ 3D‑топографии поверхности;
  • расчет параметров шероховатости и ступенчатых переходов;
  • сохранение, обработку и экспорт результатов измерений.

Оплата товаров осуществляется по безналичному расчёту на основании выставленного счёта.
Счёт на оплату формируется после согласования коммерческого предложения и условий поставки.
Реквизиты для оплаты будут предоставлены вместе с подтверждением заказа менеджером компании.

Мы осуществляем доставку продукции во все регионы Беларуси и России.
Условия и стоимость доставки определяются индивидуально для каждого заказа — с учётом объёма, габаритов и адреса получателя.
После оформления заявки наш менеджер свяжется с вами для уточнения всех деталей и подбора оптимального способа доставки.

Возможно вас заинтересует
Оставить номер
Оставьте свой номер и мы вам перезвоним
*Нажимая на кнопку вы соглашаетесь с условиями политики конфиденциальности
Отправить заявку
ATOMETRICS Интерферометр белого света серии AM8000
Наш менеджер свяжется с вами в ближайшее время
*Нажимая на кнопку вы соглашаетесь с условиями политики конфиденциальности