Измерительное и лабораторное оборудование
- Работаем с 10:00 до 18:00
Оборудование поставляется с официальной документацией и гарантией производителя
Помогаем выбрать модель с учётом технических требований и условий
Стоимость оборудования рассчитывается индивидуально по запросу
Обеспечиваем согласованные и оптимальные сроки поставки оборудования
Установка дисковой резки серии 71XX представляет собой высокопроизводительное оборудование для разделения полупроводниковых пластин, керамических подложек, светодиодных структур, MEMS-компонентов и других изделий микроэлектроники на отдельные кристаллы. Серия разработана для применения на предприятиях полупроводниковой промышленности и обеспечивает высокую точность обработки, стабильность технологического процесса и максимальную производительность при серийном производстве электронной компонентной базы.
Установки серии 71XX оснащаются высокоскоростными шпиндельными узлами, прецизионными сервоприводами и современными системами машинного зрения, позволяющими выполнять автоматическое распознавание меток совмещения и точное позиционирование режущего инструмента относительно линий разделения кристаллов. Это обеспечивает высокое качество резки и минимизирует вероятность повреждения полупроводниковых структур.
Оборудование поддерживает обработку широкого спектра материалов, включая кремний (Si), карбид кремния (SiC), нитрид галлия (GaN), арсенид галлия (GaAs), сапфир, стекло, керамику и композитные подложки. Установки эффективно применяются при производстве интегральных схем, силовых полупроводниковых приборов, светодиодов, датчиков, фотонных устройств, СВЧ-компонентов и других изделий микроэлектронной промышленности.
Высокая степень автоматизации позволяет интегрировать оборудование в современные производственные линии. Автоматическая загрузка и выгрузка пластин, контроль параметров процесса, мониторинг состояния инструмента и программируемые режимы обработки обеспечивают высокую производительность и снижение эксплуатационных затрат.
Установки дисковой резки 2″ и 4″ серии 7120/7130 обеспечивают высокий уровень доступности и гибкость под любые ваши задачи.
Благодаря нескольким моделям на выбор серия 7120/7130 охватывает самый широкий спектр применений, предлагая самую низкую стоимость владения и предоставляя самые передовые технологии резки.
Характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Размер заготовки | До 200 × 200 мм (для 7122 / 7124) До 300 × 300 мм (для 7132 / 7134) |
| Шпиндель | Воздушный подшипник, бесщеточный двигатель |
| Скорость резки | 60 000 об/мин (1,2 кВт); Опция: 60 000 об/мин (2,4 кВт) (для 7122 / 7132) 30 000 об/мин (2,5 кВт) (для 7124 / 7134) |
| Размер лезвия | 2″ – 3″ (для 7122 / 7132) 4″ – 5″ (для 7124 / 7134) |
| Ось X | |
| Привод | Ходовой винт с шариковым подшипником и шаговым двигателем |
| Скорость резки | до 600 мм/с |
| Ось Y | |
| Привод | Ходовой винт с шариковым подшипником и шаговым двигателем |
| Шаг | 0,1 мкм |
| Точность | 1,5 мкм |
| Точность шага | 1,0 мкм |
| Ось Z | |
| Привод | Ходовой винт с шариковым подшипником и шаговым двигателем |
| Управление | Поворотный энкодер |
| Шаг | 0,2 мкм |
| Точность | 2,0 мкм |
| Повторяемость | 1,0 мкм |
| Ход | 50 мм |
| Линейный энкодер по Z | Опционально |
| Зазор по оси Z до 3″ | Опционально |
| Ось θ | |
| Привод | Замкнутый контур; Прямой DC привод; Бесщеточный |
| Макс. угол поворота | 350° |
| Точность | 4 угл. сек |
| Повторяемость | 4 угл. сек |
| Система технического зрения | Цифровая камера, светодиодная подсветка (вертикальная и наклонная)
Увеличение: X55 – X210 или X35 – X140 (опция) |
Оплата товаров осуществляется по безналичному расчёту на основании выставленного счёта.
Счёт на оплату формируется после согласования коммерческого предложения и условий поставки.
Реквизиты для оплаты будут предоставлены вместе с подтверждением заказа менеджером компании.
Мы осуществляем доставку продукции во все регионы Беларуси и России.
Условия и стоимость доставки определяются индивидуально для каждого заказа — с учётом объёма, габаритов и адреса получателя.
После оформления заявки наш менеджер свяжется с вами для уточнения всех деталей и подбора оптимального способа доставки.
