ATOMETRICS Интерферометр белого света серии AM7000

ATOMETRICS AM7000 — высокоточный интерферометр белого света, предназначенный для бесконтактного 3D-анализа поверхности, измерения микрорельефа, шероховатости, ступенчатых структур и тонкопленочных покрытий. Система применяется в микроэлектронике, полупроводниковой промышленности, фотонике, оптике, MEMS-технологиях, материаловедении и научных исследованиях, где требуется нанометровая точность измерений.

Интерферометр использует технологию интерферометрии белого света (White Light Interferometry, WLI), позволяющую получать трехмерные карты поверхности с высоким вертикальным разрешением. Метод обеспечивает бесконтактное измерение объектов различной формы и структуры без риска повреждения чувствительных материалов и покрытий.

Серия AM7000 позволяет проводить измерение шероховатости поверхности, высоты ступенек, толщины тонких пленок, параметров микроструктур, геометрии MEMS-компонентов и других критически важных характеристик изделий микроэлектроники. Высокая точность и скорость сканирования делают систему эффективным инструментом как для научных исследований, так и для производственного контроля качества.

Оборудование поддерживает исследование кремниевых пластин, фотошаблонов, оптических компонентов, микроэлектромеханических систем, полупроводниковых структур, стеклянных и керамических подложек. Современное программное обеспечение обеспечивает автоматическое построение 3D-моделей поверхности, анализ параметров шероховатости и формирование подробных отчетов.

Преимущества:

• бесконтактные 3D-измерения с нанометровой точностью;
• технология интерферометрии белого света (WLI);
• измерение шероховатости и микрорельефа поверхности;
• анализ высоты ступенек и микроструктур;
• построение трехмерных карт поверхности;
• высокая скорость измерений;
• автоматическая обработка данных;
• применение в микроэлектронике, MEMS и фотонике.

Интерферометр белого света серии AM7000 предназначен для бесконтактных высокоточных измерений параметров поверхности, включая шероховатость, высоту ступеней и трехмерную топографию поверхности. Прибор применяется для контроля прецизионных деталей и поверхностей материалов на субнанометровом уровне.

Общее описание

Прибор серии AM7000 реализует метод интерферометрии белого света (WLI) для получения трехмерной морфологии поверхности. Система обеспечивает формирование 3D‑модели поверхности в виде непрерывной поверхности («surface») с использованием специализированного программного обеспечения для обработки и анализа измерительных данных.

Интерферометр может использоваться для измерений различных прецизионных устройств и поверхностей материалов, обеспечивая высокую повторяемость и стабильность результатов.

Основные функции и характеристики:

• измерение параметров шероховатости поверхности;
• измерение высоты ступеней;
• измерение толщины (в пределах применимости метода);
• построение трехмерной топографии поверхности;
• субнанометровый уровень измерений;
• высокая повторяемость измерений (RMS);
• специализированное программное обеспечение для обработки и анализа данных.

Области применения:

• полупроводниковая промышленность;
• прецизионная оптика;
• микро‑ и нанообработка;
• контроль качества материалов и покрытий;
• научно‑исследовательские и метрологические лаборатории;
• медицинские и биотехнологические изделия.

Программное обеспечение:

Программное обеспечение обеспечивает:

• визуализацию 3D‑топографии поверхности;
• расчет параметров шероховатости;
• анализ профилей и ступенчатых переходов;
• сохранение и экспорт результатов измерений.