Полуавтоматическая зондовая станция с пластинами диаметром ATPA-2000-D

ATPA-2000-D — полуавтоматическая зондовая станция для проведения высокоточных электрических, параметрических, DC, CV и RF-измерений на полупроводниковых пластинах диаметром до 200 мм (8 дюймов). Система предназначена для исследований, разработки, контроля качества и тестирования полупроводниковых приборов непосредственно на уровне пластины (Wafer Level Testing), что позволяет оценивать характеристики устройств до этапа корпусирования.

Оборудование оснащено высокоточным координатным столом и системой микропозиционирования, обеспечивающей надежное совмещение измерительных зондов с контактными площадками исследуемых структур. Полуавтоматический режим работы позволяет сочетать гибкость ручного управления с автоматизированными функциями перемещения и позиционирования, повышая скорость и эффективность проведения измерений.

ATPA-2000-D поддерживает тестирование широкого спектра устройств микроэлектроники, включая интегральные схемы, транзисторы, диоды, MEMS-структуры, сенсоры, радиочастотные компоненты и фотонные устройства. Станция совместима с параметрическими анализаторами полупроводниковых приборов, анализаторами цепей, измерителями импеданса, источниками-измерителями (SMU) и другим лабораторным оборудованием.

Конструкция системы предусматривает возможность установки микроманипуляторов, RF-зондов, температурных столов и дополнительных модулей автоматизации. Это позволяет адаптировать станцию под различные исследовательские и производственные задачи в области микроэлектроники, силовой электроники, фотоники и СВЧ-технологий.

Благодаря высокой точности позиционирования, стабильности измерений и возможности модернизации ATPA-2000-D является эффективным инструментом для научно-исследовательских лабораторий, университетов, центров разработки полупроводниковых технологий и производственных предприятий.

Преимущества:

• работа с пластинами диаметром до 200 мм;
• полуавтоматическое позиционирование высокой точности;
• поддержка DC, CV и RF-измерений;
• совместимость с параметрическими анализаторами и RF-оборудованием;
• возможность установки температурных столов;
• поддержка MEMS, СВЧ и фотонных устройств;
• высокая повторяемость результатов измерений;
• гибкая конфигурация под различные задачи тестирования.

Станция имеет широкие возможности применения для таких нужд, как анализ сбоев, проверки соответствия конструкции заданным требованиям, технологии ИС, надежности конструкции на уровне полупроводниковой пластины, а также особым требованиям, предъявляемым к измерениям устройств МЭМС, сигналов высокой мощности, высокочастотных сигналов и сигналов миллиметрового диапазона.

Ключевые особенности станции:

✓ Установка до 12 микропозиционеров

✓ Возможность маркировки выбракованных элементов

✓ Создание карты подложки

✓ Возможность установки пробкарт при использовании стандартного 4.5″ держателя

✓ 2 дополнительных керамических держателя для установки калибровочных пластин

✓ Прочный стол с высокой чистотой обработки

✓ Подходит для DC/CV и СВЧ измерений

✓Цилиндрические стереомикроскопы SZ12, AMZ12 с зумом 12x и рабочим расстоянием 95 мм

✓ Возможность установки пульта управления нагревом держателя с сенсорным экраном

Опции:

✓ Температурный диапазон от -60°C до 300 °C

✓ Антивибрационная платформа

✓ Защитный кожух от ЭМИ и света

✓ Возможность апгрейда до полного автомата

✓ Антивибрационные стол с дополнительными полками для ПК, термоконтроллера и клавиатуры

✓ Штанга для установки мониторов

Автоматизация:

Возможность автоматизации с помощью собственного ПО: интеграция, автоматизация измерений, собственные база данных и VISA-мост.

СПОАИ — специальное программное обеспечение для автоматизации измерений, разработанное на мощностях «Акметрон» — отечественного разработчика программного обеспечения, производителя и крупнейшего поставщика оборудования с 2012 года.

Это клиент-серверное приложение с многопользовательской распределённой архитектурой, которое решает задачи повышения производительности труда на производстве, сокращения длительности измерений и снижения требований к квалификации персонала. ПО внесено в реестр Минцифры: №28145

Ключевые преимущества:

• Полный цикл «под ключ»: от разработки до сопровождения
• Клиент-серверная архитектура с самостоятельной переналадкой
• Централизованный сбор и хранение результатов в БД с возможностью миграции в вашу БД
• Генератор отчетов на основе ваших шаблонов (docx. и xlsx.)
• Управление приборами с любым типом интерфейса
• ПО работает на системах Windows, Linux, MacOS, доступна веб-версия

Результаты внедрений:

• Непрерывная работа в автоматическом режиме до 48 часов
• До 4 500 измерений за этап
• Одновременное управление 15+ приборами

• Автоматизация техтренировки и полной программы испытаний выпускаемых изделий — более 10 контролируемых приборов на одном рабочем месте, до 4 500 автоматизированных измерений в каждом этапе, непрерывная работа в автоматическом режиме 24–48 часов
• Измерение радиотехнических характеристик приемопередающих модулей
• Автоматизация тестирования фотонных интегральных схем
• Контроль и испытания СВЧ-усилителей для космических аппаратов

Для каждого продукта мы предоставляем полный комплект документации: инструкция по установке с пошаговой настройкой, руководство по эксплуатации с описанием требований и рабочих процессов, презентация с обзором возможностей и кейсов внедрения.

Предоставим систему с учётом требований промышленных стандартов и рассчитанную на многолетнюю эксплуатацию. Также мы обеспечиваем соответствие отраслевым требованиям, надёжность архитектуры для критических систем и масштабируемость без потери стабильности.