Установка измерения толщины тонких плёнок Metricon

Установка измерения толщины тонких плёнок Metricon предназначена для высокоточного неразрушающего контроля толщины и оптических параметров тонкопленочных покрытий, используемых в микроэлектронике, фотонике, оптоэлектронике, производстве полупроводниковых приборов и научных исследованиях. Оборудование позволяет выполнять быстрые измерения без повреждения образцов, обеспечивая высокий уровень точности и повторяемости результатов.

Системы Metricon широко применяются для анализа однослойных и многослойных тонкопленочных структур, используемых при производстве интегральных схем, MEMS-устройств, оптических компонентов, лазеров, фотодетекторов, солнечных элементов и различных микроэлектронных устройств. Измерения выполняются с использованием современных оптических методов, позволяющих определять толщину пленки, показатель преломления и другие важные параметры покрытия.

Оборудование поддерживает контроль широкого спектра материалов, включая оксидные, нитридные, полимерные, фоторезистивные, диэлектрические и полупроводниковые пленки. Высокая точность измерений позволяет эффективно контролировать технологические процессы нанесения покрытий, повышать качество продукции и снижать производственные потери.

Установки Metricon используются в исследовательских лабораториях, университетах, центрах разработки новых материалов и на предприятиях микроэлектронной промышленности. Современное программное обеспечение обеспечивает автоматическую обработку результатов измерений, построение отчетов и интеграцию с производственными системами контроля качества.

Преимущества:

• высокоточное измерение толщины тонких плёнок;
• неразрушающий метод контроля;
• измерение показателя преломления материалов;
• поддержка однослойных и многослойных покрытий;
• высокая скорость проведения измерений;
• автоматическая обработка результатов;
• применение в микроэлектронике и фотонике;
• высокая повторяемость и достоверность данных.

Metricon 2010/M — установка для измерения толщины тонких плёнок, построенная на лазерной оптике и регистрации оптического сигнала. Использует два лазерных источника (637 нм и 1548 нм), оснащена призменным элементом связи и подложкодержателем с вращением на шаговом двигателе. Управление и вывод результатов выполняются с компьютера.

Установка Metricon 2010/M предназначена для контроля толщины тонких плёнок оптическим методом. В основном блоке размещены два источника лазерного излучения с длинами волн 637 нм (He-Ne) и 1548 нм, оптическая система преломления и призменный элемент связи, обеспечивающие корректное взаимодействие лазерного излучения с образцом. Подложкодержатель снабжён системой вращения на базе шагового двигателя, что упрощает позиционирование и проведение измерений по поверхности образца. Регистрация и измерение оптического сигнала выполняются детектором в составе контрольного блока, а управление установкой и отображение результатов обеспечиваются компьютером управления.

Состав прибора:

• A) Основной блок
  • Два источника лазерного излучения: 637 нм и 1548 нм
  • Оптическая система преломления лазерного излучения
  • Призменный элемент связи
  • Подложкодержатель
  • Система вращения подложкодержателя на базе шагового двигателя
• B) Контрольный блок с детектором
  • Контрольный блок
  • Детектор (регистрация/измерение оптического сигнала)
• C) Блок питания LDCU для He-Ne лазера (637 нм)
  • Блок питания LDCU, обеспечивающий работу He-Ne лазера с длиной волны 637 нм
• D) Компьютер управления
  • Компьютер для управления установкой
  • Вывод информации и результатов измерений на экран монитора
• E) Модуль измерения оптических потерь в пленке